advanced process control中文
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以最小平方法建構先進製程控制系統= Advanced Process ...
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本論文以偏最小平方法(Partial Least Squares, PLS)為基礎來建構一個先進製程控制系統(Advanced Process Control, APC)， 由於在半導體的製程當中，製程參數通常有多重共線性的關係，以及量測延遲的情況發生。
先進製程控制技術發展趨勢
https://www.tsia.org.tw
有別於傳統上藉由統計分析(Statistical Process Control，SPC)的製程控制方式，新一代的製程控制概念，也就是大家所知的先進製程控制(Advanced Process Control， APC)或是 ...
先進製程控管
https://ie.ntu.edu.tw
APC的施行動機主要是透過收集巨量資料、降低製程變異與提高設備運作效率，以改善IC元件的良率。為了實現此一目標，大量的數學、統計和物理技術都被應用部署至APC架構中， ...
先進製程控制技術(APC)導論
http://ilms.ouk.edu.tw
基本上APC算是某類系統的總稱，是由SEMI所定義與推廣的技術，通常包括下列項目：R2R（批次控制；Run-to-run control）、FDC（故障偵測與分類；Fault ...
【製程控制方法
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透過APC（Advanced Process Control）技術的演進，能夠在原本半導體機台的基礎上 ，加速新製程開發以及達到量產的速度。所以， APC技術通常是半導體製造和 ...
Redefine Innovation
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透過APC（Advanced Process Control）技術的演進，能夠在原本半導體機台的基礎上 ，加速新製程開發以及達到量產的速度。所以， APC技術通常是半導體製造和 ...
Lee's Lab
https://aclee.lab.nycu.edu.tw
本小組以先進製程控制(APC)為研究主題，其中包含機台狀態即時監控、即時製程資料分析進行錯誤診斷與分類(FDC)、預知保養(PdM)提醒及Feedback/Feedforward R2R Control等 ...
整合分析挖掘半導體製造智慧
https://www.digitimes.com.tw
... 控制(Advanced process control；APC)」法則，其中最常被採用的手段包括「錯誤偵測與判斷系統(FDC)」及「批次與批次的控制(Run-to-Run；RtR)」，前者 ...
公開課程
http://vip.asia-learning.com
課程大綱 · 1. APC (Advanced Process Control)的概念、架構與效益 · 2. APC系統架構、功能與人機介面 · 3. FDC (Fault Detection and Classification)的功能與案例說明 · 4.
APC應用在半導體蝕刻製程之氣體回饋機制
https://ndltd.ncl.edu.tw
中文. 論文頁數: 35. 論文摘要本論文的主要目的，是設計出一個應用在乾式蝕刻機台的演算模型，於每一次生產前，使用演算模型來計算出最佳的氣體流量，並透過機台輸入參數 ...